無塵布的適用范圍很廣,只有潔凈要求比較高的,都會用到,比如,LCD組裝,或是一些表面清潔等

　　無塵室根據潔凈程度不同分很多等級

　　目前各半導體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多

　　數字越小,潔凈等級越高

　　1000級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能過1000顆

　　100級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.3的灰塵顆粒不能過100顆

　　注意了,每個等級所管控的顆粒大小也不一樣

　　依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

　　無塵室等級，無塵室標準，無塵室標準定義

　　一、無塵室定義

　　將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及

　　粒子，且指一般空氣清凈機無法清除之灰塵。

　　無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物濃度等制藥、食品產業(yè)用BiologicalCleanRoo

　　(BCR)。

　　二、聯邦規(guī)格無塵室等級

　　現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規(guī)格(U.S.Federalstandard209b)，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格(美國航空

　　署5340.2規(guī)格)。

　　其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5

　　以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。

　　三、在JIS標準下，無塵室清潔度，共分為8個等級

　　一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2•••8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為

　　1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3，一次類推。

　　21世界，產業(yè)的發(fā)展，加速了產業(yè)結構的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕

　　的變化對商品的完成度亦造成大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中

　　用防塵材料及商品都顯得格外重要。

　　所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造*的要素。

　　無塵車間標準，潔凈室標準

　　一、無塵車間(Clean Room)，亦稱為潔凈室或無塵室。

　　「無塵車間」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　潔凈室主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「無塵車間」。

　　二、無塵車間標準-等級

　　美國聯邦標準(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3

　　潔凈度 粒 徑 (um)

　　0.1 0.2 0.3 0.5 5.0

　　1 35 7.5 3 1 NA

　　10 350 75 30 10 NA

　　100 NA 750 300 100 NA

　　1000 NA NA NA 1000 7

　　10000 NA NA NA 10000 70

　　100000 NA NA NA 100000 700

　　中國藥品生產無塵車間(區(qū))的空氣潔凈度標準

　　潔凈度 塵埃允許數 /平方米 微生物大允許數

　　≥0.5um 5um 浮游菌個 /立方米 沉降菌個 /皿.30min

　　100 3500 0 5 1

　　10000 350000 2000 100 3

　　100000 3500000 20000 500 10

　　300000 10500000 61800 NA 15

　　無塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001

　　空氣潔凈度等級 (N) 大于或等于表中粒徑的大濃度限值 (pc/m3)

　　0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

　　1 10 2

　　2 100 24 10 4

　　3 1000 237 102 35 8

　　4 10000 2370 1020 352 83

　　5 100000 23700 10200 3520 832 29

　　6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

　　7 352000 83200 2930

　　8 3520000 832000 29300

　　9 35200000 8320000 293000

　　三、無塵車間標準-控管之項目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能防止微塵粒子之產生。

　　3. 溫度和濕度之控制。

　　4. 壓力之調節(jié)。

　　5. 有害氣體之排除。

　　6. 結構物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁干擾預防。

　　9. 安全因素之考慮。

　　10. 節(jié)能之考量。

　　四、無塵車間標準-分類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

　　優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)無塵車間垂直層流式：房間天花板以PA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

　　優(yōu)點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　3.復合式(Mixed Type)：

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可局部潔凈之空氣。

　　(1)無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或PA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，SI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　(2)無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

　　(3)無塵車間并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;即屬此類。

　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

　　潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或PA及空調送風機組而成為一較之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10M2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

　　五、無塵車間標準-氣流之流動

　　無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

　　無塵車間系利用HEPA、PA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

　　無塵車間內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。

　　另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。

　　無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

　　影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

　　一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

　　無塵車間內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少低;組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

　　六、無塵車間標準-構成

　　潔凈室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室

　　(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

　　(2)空調系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。

　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。

　　(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

　　(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

　　無塵車間之建筑主體構造，一般采用雙面板夾芯彩鋼板制造，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子;C.吸濕性小;D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高

　　無塵車間標準：設計與施工嚴格按照《ISO/DIS14644-1標準》、《GB50073-2001無塵車間裝設計規(guī)范》、《JGJ71-90無塵車間裝施工及驗收規(guī)范》等標準，以ISO9002質量體系為宗旨，進行凈化工程的設計、制作、安裝、調試 的一條龍服務，滿足了不同行業(yè)對凈化、空調、無菌、照明、電氣及裝飾等需要。并且對外承接空調水系統(tǒng)安裝，配電系統(tǒng)安裝。

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